Il minicorso spiega le tecniche di crescita e deposizione dei film sottili illustrandone le caratteristiche e le applicazioni più diffuse
Proprietà dei film sottili.
Tecniche di deposizione a film sottili:
Evaporazione termica
Sputtering
Deposizione chimica per vapore
Deposizione a strati atomici
Deposizione per fasci pulsati
Spin coating
Sol gel
Elettrodeposizione
Caratterizzazione dei film
Applicazioni biomediche per film sottili.
Celle fotovoltaiche a film sottile.
Autore | Titolo | Casa editrice | Anno | ISBN | Note |
Krishna Seshan | Handbook of Thin Film Deposition | Elsevier | 978-0-12-812311-9 |
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